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磁控濺射鍍膜儀有沒有輻射？

2020-08-19 14:45:59

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磁控濺射儀當(dāng)然有輻射，

1、可見光波段：陰極發(fā)射的電子電離介質(zhì)氣體分子，分子/原子光譜。這些光密度不大，不至于刺傷鈦合金狗眼. 屬于無害輻射。

2、不可見光波段：陰極發(fā)射的電子電離介質(zhì)氣體分子，紅外/紫外，分子/原子光譜。紫外輻射有害

3、X射線：氣體電離后的離子，在陰極加快場作用，轟擊陰極靶材，作用區(qū)也比較復(fù)雜，除了完結(jié)離子刻蝕濺射以外，還有類似掃描電鏡類似的散射出現(xiàn)，如二次電子，二次離子，及各種射線輻射。在樣品端，電子會激宣布更多X射線，雖然磁控設(shè)備讓大部分電子行程增加，到達(dá)樣品其能量衰減近乎零，但會有一部分陰極電子或二次電子以zui大能量轟擊樣品，然后會有X射線發(fā)生，假如銜接類似掃描電鏡附件X射線能譜儀，你會發(fā)現(xiàn)驚喜！

至于這些X射線是否有害，一般來說，紫外粒子能量足以電離物質(zhì)，磁控濺射儀作業(yè)電壓3000V，理論上zui大輻射能量3Kev, 這些輻射是相當(dāng)危險的。

磁控濺射