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磁控濺射,東北磁控濺射廠家,電弧熔煉
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真空磁控濺射為什么必須在真空環(huán)境?

2020-09-24 09:05:24

磁控濺射過程是經(jīng)過電能,使氣體的離子(可以理解為氣體顆粒)炮擊靶材(一般是金屬濺射物),就像磚頭砸土墻,土墻的部分原子濺射出來,落在所要鍍膜的基體上的進程。

假如氣體太多,氣體離子在運轉(zhuǎn)到靶材的進程中,很容易跟旅程中的其他氣體離子或分子碰撞,這樣就不能加速,也濺射不出靶材原子來。所以需要真空狀況。

而假如氣體太少,氣體分子不能成為離子,沒有很多能夠炮擊靶材,所以也不行。



磁控濺射



只能選擇中間值,有足夠的氣體離子能夠炮擊靶材,而在炮擊進程中,不至于因為氣體太多而相互碰撞致使失去太多的能量的氣體量。

所以必須在較為恒定的真空狀況下。此狀況根據(jù)氣體分子直徑和分子自由程計算。一般在0.2-0.5Pa之間。



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