好吊妞免费视频_亚洲av成人噜噜无码网站浪先生_七月婷婷在线网址_麻豆文化传媒app免费看_一级国产毛片视频高清_青青草日韩在线精品视频_欧美日本精品一区_美女裸体日韩成人网站_欧美亚洲国产精品久久久_尤物国产在线一区手

磁控濺射,東北磁控濺射廠家,電弧熔煉
您當(dāng)前的位置 : 首 頁 > 新聞資訊 > 行業(yè)新聞

用磁控靶源濺射金屬和合金很容易

2021-03-24 15:10:40

用磁控靶源濺射金屬和合金很容易,點(diǎn)火和濺射很方便。這是因為靶(陰極),等離子體,和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。于是人們采用高頻電源,回路中加入很強(qiáng)的電容。這樣在絕緣回路中靶材成了一個電容。


但高頻磁控濺射電源昂貴,濺射速率很小,同時接地技術(shù)很復(fù)雜,因而難大規(guī)模采用。為解決此問題,發(fā)明了磁控反應(yīng)濺射。就是用金屬靶,加入氬氣和反應(yīng)氣體如氮?dú)饣蜓鯕?。?dāng)金屬靶材撞向零件時由于能量轉(zhuǎn)化,與反應(yīng)氣體化合生成氮化物或氧化物。


磁控反應(yīng)濺射絕緣體看似容易,而實(shí)際操作困難。主要問題是反應(yīng)不光發(fā)生在零件表面,也發(fā)生在陽極,真空腔體表面,以及靶源表面。從而引起滅火,靶源和工件表面起弧等。德國萊寶發(fā)明的孿生靶源技術(shù),很好的解決了這個問題。其原理是一對靶源互相為陰陽極,從而消除陽極表面氧化或氮化。

磁控濺射

冷卻是一切源(磁控,多弧,離子)所必需,因為能量很大一部分轉(zhuǎn)為熱量,若無冷卻或冷卻不足,這種熱量將使靶源溫度達(dá)一千度以上從而溶化整個靶源。


文章內(nèi)容來源于網(wǎng)絡(luò),如有問題,請與我們聯(lián)絡(luò)!

標(biāo)簽

最近瀏覽: