設(shè)備用途： 

熱阻蒸發(fā)系統(tǒng)適用于制備金屬薄膜等，可用于科研單位進(jìn)行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗工作。

設(shè)備組成：

該設(shè)備主要由金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、蒸發(fā)源、樣品加熱控溫、電控系統(tǒng)、配氣系統(tǒng)等部分組成?？膳浜鲜痔紫浣M裝。

技術(shù)參數(shù)：

極限真空度≤6.6×10-5Pa；

抽速：40分鐘可達(dá)到6×10-4Pa；

熱阻蒸發(fā)組件:2套；

有機(jī)蒸發(fā)束源爐組件：1套；

樣品尺寸：φ100mm×1片；

樣品臺溫度：300℃；

分子泵系統(tǒng)：1套；

膜厚監(jiān)測儀（1個探頭）：1套；

冷卻水路系統(tǒng)：1套；

自動控制系統(tǒng)：1套。