好吊妞免费视频_亚洲av成人噜噜无码网站浪先生_七月婷婷在线网址_麻豆文化传媒app免费看_一级国产毛片视频高清_青青草日韩在线精品视频_欧美日本精品一区_美女裸体日韩成人网站_欧美亚洲国产精品久久久_尤物国产在线一区手

磁控濺射,東北磁控濺射廠家,電弧熔煉
您當(dāng)前的位置 : 首 頁 > 產(chǎn)品中心 > 共濺薄膜制備
CKG-60三靶共濺薄膜制備

CKG-60三靶共濺薄膜制備

  • 所屬分類:共濺薄膜制備
  • 瀏覽次數(shù):
  • 發(fā)布日期:2020-08-07 15:38:24
  • 產(chǎn)品概述
  • 性能特點
  • 技術(shù)參數(shù)

CKG-60三靶共濺薄膜制備系統(tǒng)

設(shè)備用途:

CKG-60三靶共濺薄膜制備系統(tǒng)金屬和合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、磁性材料薄膜、氧化物和氮化物等電介質(zhì)薄膜、新型功能薄膜、多層薄膜、多元彌散復(fù)合膜的制備。

主要配置及特點:

主要由不銹鋼真空室,真空及測量系統(tǒng),供氣及流量控制系統(tǒng),多樣品轉(zhuǎn)臺(加熱、水冷、多層膜),膜厚儀,磁控靶(RF&DC),射頻、直流電源,電氣控制系統(tǒng)以及水冷系統(tǒng)等組成。采用磁控濺射方式沉積薄膜,可用于制備半導(dǎo)體薄膜、金屬薄膜、磁性材料薄膜,以及氧化物、氮化物薄膜等電介質(zhì)薄膜。工作方式包括單靶獨立濺射沉積、程控輪流分層濺射沉積多層膜、三靶共濺射沉積彌散復(fù)合膜等。本系統(tǒng)所制備薄膜的均勻性較好(±5%)。

技術(shù)指標(biāo):

1)真空系統(tǒng)采用機械泵-渦輪分子泵復(fù)合系統(tǒng),30分鐘真空度可達到6×10-4 Pa;

2)經(jīng)48小時連續(xù)烘烤(120℃),磁控濺射室優(yōu)于8×10-6 Pa;

3)濺射功率:<3000W;

4)基片加熱溫度:室溫~800℃;

5)基片最 高偏壓:-200V;

6)膜厚不均勻性:±5%范圍內(nèi);

7)靶片直徑:76mm;

8)樣品直徑:76mm。

標(biāo)簽

上一篇:沒有了
下一篇:沒有了

最近瀏覽:

相關(guān)產(chǎn)品

相關(guān)新聞