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EB500型電子束蒸發(fā)與電阻蒸發(fā)復(fù)合鍍膜

EB500型電子束蒸發(fā)與電阻蒸發(fā)復(fù)合鍍膜

  • 所屬分類:電子束蒸發(fā)與電阻蒸發(fā)復(fù)合鍍膜
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  • 發(fā)布日期:2020-08-07 15:38:44
  • 產(chǎn)品概述
  • 性能特點
  • 技術(shù)參數(shù)

EB500型電子束蒸發(fā)與電阻蒸發(fā)復(fù)合鍍膜系統(tǒng)

設(shè)備用途:

EB500型電子束蒸發(fā)與電阻蒸發(fā)復(fù)合鍍膜系統(tǒng)用于制備導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜等,廣泛應(yīng)用于大專院校、科研機構(gòu)的科研及小批量生產(chǎn)。

設(shè)備組成:

系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子槍、熱蒸發(fā)電極、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測量、電控系統(tǒng)及安裝機臺等部分組成。

技術(shù)參數(shù):

極限真空度:≤6.67×10-5Pa;

抽速:45分鐘可達(dá)到6.67×10-4Pa;

基片尺寸:4英寸x1片;

加熱爐最 高溫度800°C;

熱阻蒸發(fā)組件:2套;

新型電子槍及電源:電子槍最 大功率8KW(10KV,800mA)可調(diào);

水冷式坩堝: 4穴坩堝,每個容量約為11 ml;

膜厚控制儀(1個探頭):1套;

分子泵系統(tǒng):1套;

控制系統(tǒng):用工控機進(jìn)行系統(tǒng)操作,可顯示或自動控制的功能有:電子槍、膜厚控制儀、樣品旋轉(zhuǎn)及加熱、氣路、抽氣;

冷卻水循環(huán)機及水路組件:1套;

離子轟擊系統(tǒng)組件:1套。

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