離子束濺射系統(tǒng)是專業(yè)在塑料表面進(jìn)行蒸發(fā)鍍鋁的專用設(shè)備,它成膜速率快,膜層牢固,色澤鮮亮,膜層不易受污染,電鍍?cè)O(shè)備可獲得致密性好、純度高、膜厚均勻的膜層,不產(chǎn)生廢液、廢水,可避免對(duì)環(huán)境的污染,是大規(guī)模生產(chǎn)的理想設(shè)備。設(shè)備應(yīng)用廣泛,主要有汽車反光網(wǎng)、工藝品、首飾、鞋帽、鐘表、燈具、裝飾等行業(yè)。主要由真空室、排氣系統(tǒng)、蒸發(fā)系統(tǒng)和電氣設(shè)備四部分組成。
真空中制備膜層可防止膜料和鍍件表面的污染,消除空間碰撞,提高鍍層的致密性和可制備單一化合物的特殊功能的鍍層。為了提高鍍層厚度的均勻性,鍍?cè)谡婵帐抑袏A有行星機(jī)構(gòu)或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的裝置,如一個(gè)行星的運(yùn)動(dòng)模式,運(yùn)動(dòng)模式的膜均勻性好,鍍層的臺(tái)階覆蓋性能好,承載能力大,可充分利用有效空間的真空鍍膜室,是一個(gè)運(yùn)動(dòng)的常用模式。
離子束濺射系統(tǒng)常見的離子鍍類型及特點(diǎn)
離子束濺射系統(tǒng)排氣系統(tǒng)一般由機(jī)械泵,擴(kuò)散泵,管道和閥門組成。為了提高泵的流量,可以添加增壓器之間的機(jī)械泵和擴(kuò)散泵。因此,不僅在較短的時(shí)間內(nèi)低壓力以保證快速的工作循環(huán)的排氣系統(tǒng),還需要確保氣體的蒸發(fā)源和蒸鍍工件表面產(chǎn)生快速的去除。蒸發(fā)系統(tǒng)包括電氣設(shè)備和加熱蒸發(fā)源蒸發(fā)源。電氣設(shè)備包括測量真空薄膜的厚度和控制臺(tái)。